洁净室搬运机器人 负载：165KG 动态范围：2650mm 控制柜：DX100 用途：搬运、半导体、洁净室
大负载：165KG 大动作范围：*大水平伸长达2650mm,动作*大高度达3130mm。 洁净度达到ISO6级，可实现高度柔性的系统布局。
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